【关键装备！中国电科实现国产离子注入机28纳米工艺全覆盖】 中国电科 旗下电科装备已实现国产离子注入机28纳米工艺制程全覆盖，有力保障我国集成电路制造行业在成熟制程领域的产业安全。离子注入机是芯片制造中的关键装备，当前，28纳米是芯片应用领域中覆盖面最广的成熟制程。电科装备连续突破光路、控制、软件等关键模块的核心技术，形成中束流、大束流、高能及第三代半导体等全系列离子注入机产品格局，实现了28纳米工艺制程全覆盖。我身边的中国制造