科学家实现平面纳米位移的光学感测，为半导体制造提供新方案
中国科学技术大学鲁拥华副教授和团队利用微纳光学赋能的精密位移感测技术，通过设计一种基于矩阵超表面的二维位移测量技术，实现了平面内纳米位移的高精度光学感测，精度达到0.3纳米，量程达到200微米以上。该技术可应用于精密加工、精密测量、半导体制造等领域，为这些领域提供新的位移测量方案。

这项技术的成功，证明了中国科技的实力和潜力。再次赞赞领先地位